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    Ti金屬沉積后RTP氮化反應

    作者:admin 瀏覽量:494 來源:本站 時間:2021-10-22 18:29:26

    信息摘要:

    RTP技術也用于熱氮化反應過程,此過程中氨氣將和鈦金屬反應并在表面形成氮化鈦作為阻擋層及鋁金屬化的附著層?;瘜W反應為:NH3+Ti—?TIN+3/2H當鈦金屬沉積完成后,RTA反應室的溫度在氮氣環境中迅速升高,達到穩定時將晶圓送入反應室,接著關閉氮氣并打開氨氣,當氮化反應過程結束后就立刻關閉氨氣并再次打開氮氣。接著機器

    RTP技術也用于熱氮化反應過程,此過程中氨氣將和鈦金屬反應并在表面形成氮化鈦作為阻擋層及鋁金屬化的附著層?;瘜W反應為:
    NH3+Ti—?TIN+3/2H

    12寸半自動設備圖片.jpg

    當鈦金屬沉積完成后,RTA反應室的溫度在氮氣環境中迅速升高,達到穩定時將晶圓送入反應室,接著關閉氮氣并打開氨氣,當氮化反應過程結束后就立刻關閉氨氣并再次打開氮氣。接著機器手會將晶圓從反應室中取出并送入冷卻室,最后晶圓被放置在一個塑料晶圓盒中,這個過程的溫度大約為650℃。下圖說明了鈦氮化反應的過程。

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