• <optgroup id="oiikw"></optgroup>
  • 我們專注于紅外退火爐,紅外退火爐設備,紅外快速退火爐,紅外快速退火爐設備,高溫快速退火爐,高溫快速退火爐廠家,太陽能多晶硅基片,太陽能多晶硅基片廠家
    專業的紅外退火爐,紅外快速退火爐廠家專注于高溫快速退火爐、高溫快速退火爐設備研發生產
    全國咨詢熱線:0757-82560052
    聯系我們

    【 微信掃碼咨詢 】

    0757-82560052

    13702970020

    您的位置: 首頁>新聞中心>公司新聞

    瑞樂半導體公司快速退火爐RTP-150RL產品介紹

    作者:admin 瀏覽量:149 來源:本站 時間:2022-09-10 19:24:55

    信息摘要:

    rtp快速退火爐,rtp快速退火爐廠家,rtp快速退火爐生產廠家,瑞樂rtp快速退火爐。廣東瑞樂半導體科技有限公司專注于rtp快速退火爐,rtp快速退火爐廠家,rtp快速退火爐生產廠家,瑞樂rtp快速退火爐。歡迎來電咨詢。

    廣東瑞樂半導體公司快速退火爐RTP-150RL產品介紹


    快速退火爐RTP-300RL產品介紹

    一、簡介
    1.1 概要
    RTP-300RL是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統,以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品,工藝時間短,控溫精度高,適用4-12英寸晶片。相對于傳統擴散爐退火系統和其他RTP系統,其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的RL900軟件控制系統,確保了極好的熱均勻性。
     
     
    1.2 產品特點

    •  紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷

    •  燈管功率PID控溫,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性與溫度均勻性

    •  采用平行氣路進氣方式,氣體的進入口設置在Wafer表面,避免退火過程中冷點產生,保證產品良好的溫度均勻性

    •  大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理

    •  標配兩組工藝氣體,最多可擴展至6組工藝氣體

    •  可測單晶片樣品的最大尺寸為12英寸(300×300mm)

    •  采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,全方位保障儀器使用安全

     
    1.3 RTP行業應用

    •  氧化物、氮化物生長

    •  硅化物合金退火

    •  砷化鎵工藝

    •  歐姆接觸快速合金

    •  氧化回流

    •  其他快速熱處理工藝

    •   離子注入激活

    行業領域:

    •   芯片制造 生物醫學 納米技術

    •   MEMS LEDs 太陽能電池

    •   化合物產業 :GaAs,GaN,GaP,

    •   GaInP,InP,SiC

    •   光電產業:平面光波導,激光,VCSELs

     
     
     
    二、技術規格
    2.1參數

    RTP-RL300
    最大產品尺寸4-12英寸晶圓或者最大支持300×300mm產品
    溫度范圍室溫~1250℃
    最高升溫速度150℃/s
    溫度均勻度±1%
    溫控方式快速PID溫控
    降溫速度200℃/min(1000~400℃)
    腔體設計可配置大氣常壓腔體或者真空腔體
    腔體冷卻方式水冷腔體,獨立水冷源控制冷卻
    襯底冷卻方式氮氣吹掃
    工藝氣體MFC控制,常規兩路氣體,最大可擴充至6路氣體

     
     
     
     快速退火爐RTP-300RL可制作的產品
     

     
     
     
     
     
      快速退火爐RTP-300RL生產線一覽
     



    在線客服
    聯系方式

    熱線電話

    13702970020

    上班時間

    周一到周五

    公司電話

    0757-82560052

    二維碼
    三级片免费看
  • <optgroup id="oiikw"></optgroup>