瑞樂Tcwafer熱電偶溫度傳感器（也稱測溫晶圓）

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瑞樂Tcwafer熱電偶溫度傳感器（也稱測溫晶圓）

TC WAFER是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實現晶圓表面溫度實時測量的溫度傳感器。

TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡稱，Wafer即晶圓。通過TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實溫度測量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續監控在熱處理制程中晶圓瞬態溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過程及延遲時間等?。ǐ@得爐溫溫度的均勻性數據，從而控制良率等）。

瑞樂是專業的 TC wafer 制造商。在半導體廠的生產工藝中。 有許多高溫的工藝需要精準的溫度控制，來達到晶圓薄膜厚度，應力等參數的要求，所以一個測量精度高、穩定性好的TC Wafer 是非常重要的。

圖1  TC Wafer工程示意圖

·基本參數

1. 晶圓尺寸：可提供2” 4”6”8”12”不同尺寸不同材質晶圓片；

2. 可按不同測溫點要求定制各線段材質及長度，以及接頭型式；

3. 測溫范圍：可根據要求設計RT~1200℃；

4. 最大測溫點：可根據客戶要求定制

5. 測量精度：±1.1℃/±0.4%（Type K ）；

6. 使用環境：普通狀態/真空環境；

7. 具有優秀的軟件功能，可實時顯示溫度場剖面圖及實時升溫曲線圖；

8. 測量數據自動保存。

·應用場景

1. 半導體制造廠 Fab，硅片廠，晶圓制造廠

2. 封裝測試廠

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半導體設備制造商

5. 高溫工藝設備腔體溫度的監控

·我們的優勢

精度高、交期短、服務響應快。

·服務內容

1.產品定制；

2.TC wafer 維修，包括測溫點脫膠、熱電偶更換等。

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