快速退火爐的操作規范，快速退火爐的操作手冊

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快速退火爐操作規范

開機

1、打開冷水機

2、利用工具將爐體擋門螺絲旋下，緩慢平穩地將石英舟拉出

3、輕輕放置好樣品

4、緩慢將石英舟推入爐體，用工具將擋門螺絲旋緊，此時注意三個螺絲輪流循環適度

旋緊螺絲。

若不需抽真空進入“工作”步驟，若需抽真空則繼續進行以下步驟

5、關閉進氣閥、出氣閥，打開真空泵，抽真空時間15-20min

6、關閉擋板閥、真空泵

7、依次打開真空計、進氣閥和儀器左下角的進氣開關

8、打開氣瓶閥門緩慢通入氧氣，注意觀察真空計務必使爐體處于負壓狀態。通氧5min

后關閉氣瓶閥門、進氣閥和進氣開關

工作

1、打開電源開關

2、設定控溫程序：

AM→C1（初始溫度1）t1（升溫時間1）C2（目標溫度2）t2

（保溫時間2）C3（保溫結束溫度，值與C2相同）t3（降溫or繼續

升溫時間）→······→Cn（最終溫度500℃）t n=-121，降溫部分將最終溫度

設置為500℃，先后按下（最大

升溫速率為50℃/S，最高溫度為1050℃）然后按下綠色按鍵，繼電器吸合。再長

按控溫面板上的“run”。待面板出現“run”，升溫開始。這里的t1-tn、C1-Cn的值

通過調節面板上的按鍵設定：增大值，：減小值

取樣品

爐子工作結束后按下紅色按鈕，繼電器斷開。待溫度降至300℃以下可以取樣品，取樣品后同樣將爐子關閉。如有需要200℃可打開爐體。

關機

待溫度降低至100℃以下關閉開關，關冷水機。

真空計調零